DUV光刻机的极限究竟在哪里(上)

Description
找不到DUV的高分图,就用EUV的剖析图做封面了
一直有人说DUV极限是3nm/5nm,就计算了一下极限,粗略计算!!!!!!
这期也就是简单的计算罢了(真的超级简单
其实标题应该叫做光刻机的极限究竟在哪里
但是因为讲的是ASML的DUV,欸嘿
或者叫ASML的设备的理论极限与常见DUV的计算


下期讲
禁令+SMEE+Nikon duv+ASML 0.33NA EUV+0.55EUV的极限计算,大概2700字

适合扯皮用

Comments

云荒丶七夜雪 2024-02-27

直接翻最后结论,NXT2100i极限情况下可以做16nm的pitch,已知台积电5nm节点fin pitch是28nm,考虑到实际生产工艺误差,也完全足够了,问题在于华为手头有没有2100i?靠1980Di做5nm SADP下为37nm,差太远,可以认为没法做5nm

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虹猫酱的呆毛 2024-02-27

不过SAQP SAOP会大幅降低良率提高成本的吧,毕竟光刻机可是耗电大户[doge]更别说mask和胶

♥ 49 ↩ 5

BIGic_Lab 2024-02-27

硅材料极限戓者说现有材料极限已在前方等着了,没有材料戓计算原理上的突破,光刻极限不可避免[辣眼睛],,

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久夜の杯子 2024-02-26

为什么播放量这么少?因为一脸懵逼的进来一脸懵逼的出去。直接说结果吧。7纳米5纳米。因为能造3纳米早就有人造了![笑哭]

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Sistocking 2024-02-26

视频标签🏷超级可爱的17岁Jk美少女Kurnal[喜欢]

♥ 38

虹猫酱的呆毛 2024-02-27

在评论区看到光刻厂,只能说B站水平堪忧啊[doge]9月份我已经写了六千多字辟谣,可惜

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黑鸫Ray 2024-03-04

今天在半导体行业洞察那边看到了BEUV的路线图,技术瓶颈又一次来到了光源效率. 只要现有的EUV演进路线不断导致成本指数级上升就是国产追赶的好时机. 在看中成本的工业界尤其是消费品电子行业,这几乎就意味着个人用芯片的顶点未来可见. 可能到了BEUV时代的某天,最先进的CMOS制程只有玩算力的企业级用户才用得起了

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爱萌好哥哥 2024-02-29

向UP求证一种说法 有说台积电和三星的20nm以下制程多少NM都已经是等效算法了,实际间距要大得多 intel在10nm以上还不是等效所以14一直在++++,到10nm以下也开始等效了 这种说法有多少准确性?

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沈洁Eacc 2024-02-27

可以通过结构提高晶体管密度,例如CFET,这点时间足够国内过度到euv光刻机研发出来了

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谷雨Goorain2501 2024-02-27

外行路人弱弱说一下,wph是wafer per hour,每小时晶圆数吗?如果是的话,那个hour的h在英语里应该是不发音的,直接读our就行

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好香的芙芙 2024-02-27

你舌头过保质期了?[辣眼睛]

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韭与瓜 2024-02-27

口齿不清,听的难受! 能不能用个AI配音?

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cherrybin 2024-02-26

DUV光刻机的分辨率还有往下迭代的空间,只是目前碰到了一些瓶颈,假如DUV光刻机可以将分辨率再次提高,制造成本可以进一步下降。

♥ 12 ↩ 11

漢家烟尘在东北 2024-03-19

结论:用2000di和2050可以勉强做pitch27nm,约等于台积电N5,再往下没什么大可能性

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失传技术 2024-02-27

AI字幕提取:一直有人说DVB的极限是7NM 5nm 3nm 那么实际的精准数据呢 全文加热理论极限 以及曝光周期性线条时的计算与思考 非及其产物群里面有...

♥ 7

面线糊一定要加醋肉 2024-02-27

太专业了,问题是提出了,但解答不清楚,可能因为我是门外汉。

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Re_As 2024-03-03

好厉害,听不懂

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逸生菌w 2024-02-28

师傅你是做什么工作的[doge] (up学什么的)

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麒麟Kirin1020 2024-02-27

UP那个大学毕业的,太专业了

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i铜锣烧配上茶 2024-03-23

up我问个问题:现在除了阿斯麦之外的光刻机大概是什么个水平?阿斯麦的光刻机到底比他的友商领先了多少?[汤圆]

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