下一代光源？15分钟讲清楚清华EUV光源的前世今生【芯片系列6】

auv光刻机，那叫一个地道

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上周六晚上我在直播间，请在瑞士做半导体材料的博士同学讲这个事情，他在法国的Grenoble ESRF（欧洲同步辐射装置）做过相关项目，在直播间说这个不是什么超大号euv光刻机，而且维护成本巨高，建在雄安应该就是高校的基础研究项目。结果被一位网友嘲笑学历太低，狗屁不懂，说话像个专科生…[笑哭] 讲的太深怕听不懂，讲的太浅又被说不懂装懂，我这同学真是太难了… 我理解很多人希望国产高端光刻机快点搞出来，可不能为了流量胡乱造谣啊！ 我看b站没有太多这方面的专业内容，打算让我这同学抽时间出一个系列科普课程，不知道大家有没有兴趣？

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来自星星的何教授说的对，理论21年才验证，雄安在建那个应该也是个验证装置，等到商用还有很长的一段时间，我国的光刻机将来可能用得上，之前应该还是靠长春的方案

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长春光机所就应该出个科普视频，那样最权威

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北京雄安那个同步辐射光源是一个超级显微镜，是探索微观世界的利器。如果改造要改造成EUV光源，就相当于重建，不要人云亦云。

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我算理解为什么很多up主发的错误科普，因为正经的科普没人看，也看不懂

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省流助手：可能10年到20年后才能商用。刻芯片只是一个小小的应用场景，有更多更前沿的应用需要ssmb

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这种半场开香槟的越来越多了，还是怀念战忽局，偷偷发育不吹牛。

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炒室温超导尝到甜头了，容不得正经科普[微笑]

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搞纳米的汪淼为什么会碰见搞加速器的杨冬，因为汪淼的纳米材料需要加速器的同步辐射光做实验[doge]

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auv光刻机，那叫一个地道

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等你你的电脑几点开始看什么你的内心奶凶继续看多看看打开打摩的基督教

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那些营销号下面你都不敢说一点不好的东西，我就说了句才研发出来，达到量产芯片估计还有不少的路，期待后续优化。就这样的话都能被人喷得狗血淋头我也是服了

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终于有人提到了衍射极限了（就是视频中的瑞利判据），短波长和高能量没有必然联系，红光一样可以能量很大只要功率够大，短波长的好处是可以聚焦在更小的点，聚焦点的大小大概1/3的波长，所以euv能造出来3nm芯片，其他科普都是说什么波长短能量大，根本没有碰到核心原理

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非物理学专业的人，但是单纯地觉得加速器这玩意儿有种很震撼的感觉，在如此巨大的尺度上，去控制极端微观的物理现象，既是人类工程技术上的宏伟奇观，也是宇宙规则的奇异展现。[妙啊]

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我看到这一批最早介绍ssmb视频并没有后来那么夸张，很清楚说的是论文、理论，而视频素材用的中科院HEPS，地图、工作人员制服、实验室挂牌等等都是“中科院”，于是。。。 当时我带孩子看那个视频，专门暂停指出：这是中科院不是清华，推测清华ssmb还是论文，所以作者用了现有的素材，但不要混淆。 得，后面几天就满天飞砖了，再然后就是各种辟谣[笑哭]

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理性分析，拒绝自嗨[笑哭]

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【内容总结】 这个视频是关于清华大学的EUV光源项目的介绍。视频解释了EUV光源的概念和发展历程，以及清华大学的SSMB项目的技术路线。SSMB是一种结合了同步辐射光源和自由电子激光的新型技术，旨在产生稳定的极紫外光源。该项目目前还处于实验阶段，但有望在未来成为一种颠覆性的光源技术。 【时间线】 - 00:00: 视频介绍了清华大学的SSMB项目，解释了各种关于该项目的不准确说法。 - 01:32: 解释了EUV光源的概念，以及光刻机发展中光源的重要性。 - 02:53: 介绍了产生EUV光源的不同技术路径，包括同步辐射光源和自由电子激光。 - 07:15: 详细介绍了同步辐射光源的原理和发展历程，包括第一代、第二代和第三代光源。 - 08:18: 介绍了第四代光源和自由电子激光的原理和特点。 - 11:34: 介绍了清华大学的SSMB项目，解释了其原理和应用场景。 内容由AI自动总结, 总结内容仅供参考~ @dftu2 触发了视频总结, 触发方式是 @有趣的程序员 总结一下

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其实就跟3G陪跑，4G并跑，到了5G才真正领跑一样，技术的发展从来不是走一步看一步，也不是完成了这个才能开始那个，而是同时开始研究的。

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阿斯麦尔10年前就造出了euv光刻机的验证机，但是最后真正量产也就在三年前，大概算一下就知道实验设备离商品化有多远，更何况上海那个现在我们原型机还没造出来。

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