什么是EUV光刻机？我们能搞出EUV光刻机吗？10分钟了解EUV光刻机的技术难点【芯片系列第四期】

EUV光刻机这边国内做出来了相差小于1000分之一波长的六镜式极紫外光刻机反射镜样机与转换率大于2%的LPP-EUV光源样机，而且广智院还在与华中科技大学联合研制多束分时光纤激光器驱动极紫外光源，其中已经完成了40Khz液态锡滴打靶装置并完成打靶验证产生极紫外光，除此之外还有清华大学提出的微聚束（SSMB-EUV）光源方案，已经在雄安开工建设光源样机（周长百米级别）不仅如此，哈工大胡组也完成了分辨率优于5皮米的真空激光干涉仪在目标用户处的验证，所以不要把极紫外光刻机当成什么不可能的东西，很多玩意中国已经开始研发甚至样机都出来了。你觉得不可能只是你不知道罢了

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我看很多小朋友说要合作要开放，单靠一个人不行诸如此类。。。大哥，您村里刚通网吗？谁不想合作不开放啊，兔子家从被炸大使馆，强行搜船，撞飞机，航母开到家门口，制裁华为这种不说了。全都忍了，现在连个抖音都要封。我们没有不合作啊，想合作的要死，一切按您的规矩来，在您的规矩里把你按死了，您要改规则耍流氓。到底是谁不开放不合作呢？兔子家几千年来都是和平使者，郑和下西洋去撒钱，哥伦布发现新大陆去割头皮。你现在跟我说要合作共赢。跟这帮蛮夷有啥好说的呢，只能靠自己。反正我是跪不下去的。

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某些人，明明知道地球上目前还没有一个国家可以独立制造出euv光刻机，却讽刺中国造不出来。

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我放弃了一分去早国产光刻机的工作，不知道是对是错，还是怕风险太高了，最后选了个造曲速引擎的工作[OK]

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光刻机真是集合了人类现代多学科科技，结合各种奇技淫巧的怪物[笑哭]然后这样一片cpu只卖千八百，真的太便宜了

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通过本视频的学习，想必你已经学会了euv光刻机的基本设计思路，接下来自己动手尝试造一台出来吧[doge]

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EUV我们肯定能搞出来啊，又不是塞伯坦技术，也不过是人造出来的而已，怎么会搞不出来呢。 顶多也就晚几年而已嘛，十年不成就二十年，二十年不成就三十年，四十年，肯定能造出来国产EUV。

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光刻机很重要，但是更重要的是光刻机背后的整体产业链，即使是美国也没办法垄断整个产业链的上下游，即使国内最后能够搞出duv级别的光刻机，后续euv级别的也很难了[doge]。所以短期内并不指望能够赶超西方

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如果你看完了UP的四个科普，请自己琢磨两个新闻就够了：1、《3大关键技术至少突破2项！》结论是，我国已经掌握了EUV三大关键技术中的反射镜和真空双工件台两大关键技术；3大关键技术只缺光源； 2、2023年4月13日下午，中国科学院院士、中国科学院前院长白春礼到长春光机所调研，对其研制成功极紫外光刻机重要部件一一EUV光源工程化样机表示高度肯定。 懂的都懂~静等时间

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我是理科生，我曾经用双手刻出了4090，刻完之后我身心俱疲，幸好我当过几年体育生，过几天就恢复了，现在在光刻机里面上班，日新不高，活过一天是一天[doge]

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在距今约2000年前的西汉，那时我们的丝绸和瓷器，算得上高科技吧？再者17世纪末，英国人瓦特发明的蒸汽机，在当时算的上高科技吧？不过这些所谓时代之光，不都随着时间的推移成了最普通的技术吗？当然光刻机研发难不难，难！但它并不是不可逾越的高峰。

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原理早就吃透了，但专利壁垒确实太高，他们先发优势太大了。 不过我相信我族的潜力，总会攻克难关，并且把他们走过路，我们再自己走一遍，夯实基础，未必不是好事。

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大家学会了吗，请参考本节课，本课课后作业制作一个3纳米的光刻机并成功制作rtx 5090[doge][doge][doge]

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草，去看过用来做同步辐射的加速器，他们主要研究的是4微米波长的，但这些激光实在是太难伺候了，按照他们的说法，仅仅是要方向偏折几度角，就需要非常非常复杂的流程，全程都在几十米长的高真空管道中才能完成。另外激光尾波场加速器可能是我最大概率会去参加的研究，这个现在其实全世界都在研究，感觉前景很大，而且主要是原理很好懂，适合我这种理论基本全没学会的废物[doge]

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外国人能搞的，难道中国人不能搞？中国人比他们矮一截？ 引用某位大佬的话。

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其实只要搞过跟“研发”、“设计”有关的工作， 就会知道中国肯定能做出来， 因为这类工作最大的难点是概念原型，这是0~1的天坑， 但EUV光刻机的所有技术概念都有详实的论文， 现在的问题只是难以绕过去的专利墙和工艺升级， 这都是时间的问题，不是能不能的问题。

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哈哈。好像没遇到一个行业内的人啊。02口隐藏规矩：近两年的研究进展是不能外说的。[滑稽]

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光刻机应该是地球制造业最顶端的科技了吧，比发动机难度还要高几个档次的玩意

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阿斯麦尔用了20年，集合了全球17个国家24个领域里的158项尖端技术才研发出了EUV。 而且制作一个尖端芯片用的不仅仅是一台光刻机，配套的加工机器，验证端，冗错检查器，激光束矫正机等等一整条生产线，缺了任何一个环节，纳米级芯片的误差都会差了很多数量级。并不是说缺了这些造不出来芯片，而是相当于一个土炮和一千枚精准制导导弹的区别，这就是难度。 天天说的规划是要时间的，乐观点就算全部领域都能突破限制，那就5年？10年？那个时候AI算力都到了什么地步了我们难以想象，它背后的芯片架构恐怕早就1nm级别了。 科技领域不在于有没有，也不在于能不能超越别人而做的更好，而是你有没有那个聚合能力。一项科技的发展所能带动的基础产业是成倍的。可是一个很现实的问题是：现在不同于冷战时期，是商用带动科技发展，催生技术进步的企业在国内很少，国家层面只有研究所去搞攻坚，这种合作环境想要突破限制难上加难，何况很多科技企业只是在想怎么捞钱，捞的那点钱全都海外投资。科技是需要交流和资金的，老这么闭环下去何时是个头……

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很好奇芯片行业有没有新道路，硅基？生物芯片？感觉就像传统能源车一样，开放了20年市场也没有换来技术，没有培养出自主品牌，最后换个赛道，搞新能源一波就干翻了。 举这个例子一是想说明真有很多行业，后来者你就是追不上的，专利，品牌，生态都是越不过的坎。 芯片行业我也是这个看法，追是追不上的，想要站到顶端要么换赛道，要么是政治军事上对抗美国的影响力，走全球合作的路子。 补充，吉利，长城等都汽油车站起来，在我看应该还是和收购外国品牌获得技术有直接关系，这种崛起路线和初衷已经不同了，并且油车始终没有进入高档市场

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