【百年化学 中国篇 No.113】光刻胶：一滩被光改命的塑料水，如何成为芯片世界的照骗大师

喵教授ProfessorMeow

合集 · 【百年化学 中国篇】 (25)

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    【百年化学 中国篇 No.113】光刻胶：一滩被光改命的塑料水，如何成为芯片世界的照骗大师
Description 
高分辨率光刻胶国产化技术（中国）
2010 年后中国突破 5 纳米级光刻胶技术：以酚醛树脂为成膜树脂、重氮萘醌为感光剂，通过分子设计优化树脂结构，提升光刻胶的分辨率与抗蚀刻性，2022 年实现量产，打破日本、美国垄断，用于 14 纳米以下芯片制造，保障半导体产业链安全。
原理：感光剂（重氮萘醌）遇紫外线分解生成羧酸，使曝光区域树脂溶解度提升，经显影液冲洗去除；未曝光区域树脂保持刚性，作为掩膜保护基材，后续蚀刻形成精细电路。

Comments

lidongmin 1h ago

112去哪了

bili_16301468366 4m ago

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